pecvd中用的石英管规格主要有两种:30*26*1130以及30*25*1130。 石英管在pecvd中的作用: 1) 石英管是硅材料,它界定了反应的范围,石英管厂家,使反应均匀。做真空chamber用;石英管,结合前后盖板,提供了一个密封的反应腔。石英管是一个窗口的作用,衢州市石英管, 本身不产生等离子体,是微波源与铜波导管产生的。 2)干净,钠离子含量低; 为什么要定期更换石英管? 定期更换石英管,也就是“擦窗户”的效果。用的时间长了,石英管价格,石英外壁会沉淀厚厚一层sinx,影响石英管的激发效果,会影响均匀性和效率。不便于调节反应参数,所以要定期更换。
如何切割石英玻璃管?
在要折断的位置用粗糙石头或者锉刀锉一个痕迹,锉的痕迹也要有讲究的,锉的方向不能是来回方向,只能在一个方向锉,锉出一个较深的痕迹之后再轻轻掰开就可以了,掰的时候小心手部要被玻璃的边缘划破了。
还有一个比较安全的方法,在石英玻璃管的划痕出绕几圈沾有的细线,然后再把细线点燃让细线充分燃烧,烧完之后立即放入冷水中,这样就很容易把一个石英玻璃切割成两半了。
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